對于凈化車間來說，防止儀器設備被污染是重要的管理內(nèi)容，當設備被污染后，這些被污染的設備會讓產(chǎn)品也被污染，所以我們必須防止凈化車間內(nèi)的設備被污染，下面華盛興邦就談下凈化車間中的設備怎么防止污染。

一、生產(chǎn)工藝設備的防污染管理

在凈化車間內(nèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，生產(chǎn)設備的塵粒污染是不可忽視的。據(jù)資料介紹，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30％左右，可見其影響之大。污染的類型除了影響制作微細圖形的微塵污染外，還有可使器件特性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅、鐵等重金屬的分子或分子級污染。所謂生產(chǎn)設備的污染，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染，但是還有源于設備制作材料、生產(chǎn)過程中的原輔材料（包括反應氣體、輸送氣體、吹掃氣體和清洗用純水等）、工器具使用不當和機械運動及其潤滑劑等的各類污染，還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中由于操作失誤造成的不應有污染。各種凈化車間內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)的實踐表明，加強凈化車間內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)工藝和設備的管理，的確是降低室內(nèi)污染程度，提高產(chǎn)品質量的重要措施。要十分認真細致地觀察凈化車間內(nèi)的生產(chǎn)設備在運轉過程中可能發(fā)塵的情況，特別是運輸裝置、運動部件、機械手等可能的污染源，還有各類泵、風機等的電動機內(nèi)部軸承之間的摩擦，并針對這些污染源的情況制訂相應的管理措施和必要的對策。

二、生產(chǎn)工藝設備和工器具的防污染管理措施

以大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用凈化車間為例:生產(chǎn)工藝設備和工器具的防污染管理措施中較徹底的方法是實現(xiàn)生產(chǎn)過程自動化，不再采用手工操作方式運送硅片，不再用鑷子進行硅片的裝送，以杜絕設備、工器具和人身帶來的污染。同時，隨著硅圓片直徑的不斷增大，人工操作已不能適應工藝生產(chǎn)要求，所以全面實現(xiàn)自動化操作已不僅是改善生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度的需要，而且與改善企業(yè)的經(jīng)濟利益密切相關了。

又例如某硅片自動化輸送系統(tǒng)，由一種或數(shù)種生產(chǎn)工藝設備組成微環(huán)境加工區(qū)，將這些加工區(qū)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求進行組合形成產(chǎn)品生產(chǎn)流水線，在兩個加工的交接點上設置儲料器，用它來緩沖由于生產(chǎn)工藝設備生產(chǎn)速度不同、單片處理和分批處理的不同以及其他原因造成的物流不平衡。設置儲料器后，加工區(qū)之間的輸送就成為儲料器之間的輸送，加工區(qū)內(nèi)的輸送則為儲料器與生產(chǎn)工藝設備之間、生產(chǎn)工藝設備與生產(chǎn)工藝設備之間的傳送。潔凈廠房設計時，應根據(jù)建筑平面與空間、人員通行與操作、生產(chǎn)設備的移動與維護以及公用動力設施和管線等的實際情況進行綜合協(xié)調(diào)，選擇不同的方式、不同的布置。