一、電子潔凈車間空調凈化系統主要形式

電子潔凈車間空調凈化系統主要有以下幾種形式：

1、垂直單向流集中送風方式；

2、風機過濾單元送風方式；

3、隧道送風方式；

4、非單向流送風加層流罩送風方式；

5、微環境方式。

這幾種形式的特點：

垂直單向流集中送風：活動區與生產區同處一室，面積可很大，活動自由，靈活性大正壓頂棚，不利密封

風機過濾單元：同垂直單向流集中送風，但噪聲大耗能較多，不利于維修；負壓頂棚，有利密封

隧道送風：活動區與生產區分開，有利于控制污染

非單向流加層流罩：局部操作區可實現較高潔凈度（1S05級），自由度差，噪聲大

微環境：生產區徹底被隔離，機械手操作，易實現其他方式難實現的高潔凈度。

二、垂直單向流集中送風方式

集中送風方式是一種經典的方式。集中送風方式就是將多臺空調凈化機組集中設置在空調機房內?？照{機房可位于潔凈室的側面，也可位于潔凈室的頂層。垂直單向流集中送風方式可適用于大面積和潔凈度級別高的潔凈室。

三、風機過濾單元（FFU）方式

風機過濾單元方式也是集中送風，在最近若干年獲得大的推廣該方式靈活性更大。這種送風方式將新風與回風的混合風由單元機組送到潔凈室，再從回風靜壓室經兩側夾道回至送風靜壓箱與新風混合。這種方式由于不需要大的空調機房，送風靜壓箱內的空氣處于被風機過濾單元中的風機抽吸的狀態，所以箱內呈負壓，因此有利于防止過濾器邊框的泄漏。但是單元臺數太多，一臺一個電機，發熱量全散在頂棚中，給制冷帶來過大的負荷。臺數多，疊加噪聲大，不便于維修。

如果車間跨度很大，新風口開在一側或兩側不足以使處理過的新風較均勻地分配到每個FFU，回風也有這種現象，此時也可能要設必要的新風管道，進入縱深。當風機過濾單元滿布時，其外殼強度應滿足上人要求。

由于風機過濾單元只負責空氣循環及其凈化處理，不能處理循環風的熱負荷（濕負荷由新風兼管），所以必須在循環通路上如夾墻內設冷卻裝置。為防潮濕滋生細菌，此冷卻裝置應為干表冷器，其進水溫度應高于潔凈室露點溫度，其迎面風速不能太大，要使產生的阻力可為風機過濾單元的風機余壓所克服。為防還有一些凝結水產生，必須考慮適當的排水措施。不能在夾墻或下技術層安裝干表冷器時，也有使部分回風回到大機組的做法。

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